EES开发工程师

职责概述：

1、负责机台自动化集成(EAP)与优化, 负责Fab机台自动化上线, 以及后续自动化集成运维以及持续改善. 同时负责工艺配方管理系统(RMS)建设, 实现整体实现工艺/量测机台自动化接入与工艺机台配方管理, 保障工艺生产配方 & 机台参数设置安全；
2、负责先进工艺控制(APC),实现光刻机套刻高阶系数与曝光控制集成; 同时推进覆盖各区域先进工艺控制, 目标研发工艺关键站点全覆盖；
3、负责机台工艺侦测系统(FDC), 完成Fab 机台运行数字化分析/生产过程全监控建设与运维；
4、负责机台远程控制系统(RCM),  完成Fab 机台运行建设与运维；
5、负责机台附属设备参数监控系统(CMS),  完成Fab 机台附属设备参数点位监控建设与运维；
6、系统24小时on-call与假日值班, 主动监控,做好Fab研发支撑, 业务问题顾问式协助, 支持研发过货顺畅不卡 。

岗位要求：

1、大学本科及以上，理工科背景;
2、 对工艺流程以及缺陷要有较深了解，有相应工作经验，工程师5年以上工作经验;
3、良好的口头和书面表达能力;
4、 工作认真细致，具备敬业、务实及团队合作精神。